MatrixSolar·石英舟检测设备
主要用于扩散上下料/氧化上下料石英石内部硅片的检测，检测硅片是否存在少片、空片、碎片等。实时监控舟内片的情况，及时报警反馈设备或人工处理。
实时管理监控当前工艺段的成品率，避免不良品随花篮流入后续制程，提高整体产线效率。
产品规格
| 物料能力 | |
| 支持产品 | 单晶：PERC、HJT、TOPCon等 |
| 兼容产品尺寸 | 扩散上下料/氧化上下料，基础尺寸182±0.5mm，向下尺寸不限，向上兼容至230±0.5mm，硅片厚度≥140μm，常规100片的花篮 |
| 检测功能* | |
| 检测项目 | 石英舟满舟碎片、缺片、空舟舟槽内碎片、顶齿内碎片等 |
| 自动检测 | AI全自动在线精准检测，实时获取硅片图像，缺陷分类 |
| 数据统计 | 直观便捷提供可视化量化数据，帮助客户完善工艺 |
| 检测能力* | |
| 产能 | ≥12000 pcs/h（约10舟/h） |
| 检测效率 | 单次检测≤0.6s（单次拍照处理） |
| Uptime | ≥99%，计算方式：[1-(维护+维修时间)/总时间]*100% |
| 最高检测精度 | 0.06mm/pixel |
| 准确性 | 检出率：≥99% 漏检率：≤0.5% 检测良率：≥95% |
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